產品介紹

膜厚測試儀x-ray是一款無損、快速測厚儀器，主要針對金屬鍍層厚度進行分析，天瑞儀器是國內膜厚測試儀x-ray品牌產品生產廠家，分析儀器上市（股票代碼：300165）公司。

應用優勢

1.無損、、快速測量各種電鍍層的厚度.

2.電鍍層可以是單層/雙層/三層

3.鍍金/鍍銀/鍍鎳/鍍銅等都可以測量

4.有電鍍液成份分析以及金屬成份分析等軟件

5.易操作/易維護

6.準直器程控交換系統 多可同時裝配6種規格的準直器，程序交換控制

技術指標

分析元素范圍：硫（S）～鈾（U）

同時檢測元素：多24個元素，多達5層鍍層

分析含量：一般為2ppm到99.9%

鍍層厚度：一般在50μm以內（每種材料有所不同）

SDD探測器：分辨率低至135eV

良好的微孔準直技術：小孔徑達0.1mm,小光斑達0.1mm

樣品觀察：配備全景和局部兩個工業高清攝像頭

準直器：0.3×0.05mm、Ф0.1mm、Ф0.2mm與Ф0.3mm四種準直器組合

儀器尺寸：690（W）x 575（D）x 660（H）mm

樣品室尺寸：520（W）x 395（D）x150（H）mm

樣品臺尺寸：393（W）x 258 （D）mm

X/Y/Z平臺移動速度：額定速度200mm/s 速度333.3mm/s

X/Y/Z平臺重復定位精度：小于0.1um

操作環境濕度：≤90%

操作環境溫度：15℃～30℃

性能優勢

1.精密的三維移動平臺

2.的樣品觀測系統

3.良好的圖像識別

4.輕松實現深槽樣品的檢測

5.四種微孔聚焦準直器，自動切換

6.雙重保護措施，實現無縫防撞

7.采用大面積高分辨率探測器，有效降低檢出限，提高測試精度

全自動智能控制方式，一鍵式操作!

開機自動自檢、復位；

開蓋自動退出樣品臺，升起Z軸測試平臺，方便放樣；

關蓋推進樣品臺，下降Z軸測試平臺并自動完成對焦；

直接點擊全景或局部景圖像選取測試點；

點擊軟件界面測試按鈕，自動完成測試并顯示結果。

工作原理

　　若一個電子由軌道游離，則其他能階的電子會自然的跳至他的位置，以達到穩定的狀態，此種不同能階轉換的過程可釋放出能量，即X-射線。因為各元素的每一個原子的能階均不同，所以每一元素軌道間的能階差也不同相同。

下述可描述X-射線熒光（x-ray）的特性：若產生X-射線熒光是由于轉移一個電子進入K 軌道，一個K軌道上的電子已事先被游離，另一個電子即代替他的地位，此稱之為K 輻射。不同的能階轉換出不同的能量，如Kα輻射是電子由L軌道跳至K軌道的一種輻射，而Kβ輻射是電子從M 軌道跳至K軌道的一種輻射，其間是有區別的。若X-射線熒光是一個電子跳入L的空軌域，此種輻射稱為L輻射。同樣的L 輻射可劃分為Lα 輻射，此是由M軌道之電子跳入L軌道及Lβ 輻射，此是由N 軌道之電子跳入L 軌道中。由于Kβ輻射能量約為Kα的11%，而Lβ輻射能量較Lα大約20%，所以以能量的觀點Lα及Lβ是很容易區分的。

原子的特性由原子序來決定，亦即質子的數目或軌道中電子的數目，即如圖所示特定的X-射線能量與原子序間的關系。K輻射較L輻射能量高很多，而不同的原子序也會造成不同的能量差。

　　特定的X-射線可由比例計數器來偵測。當輻射撞擊在比例器后，即轉換為近幾年的脈波。電路輸出脈沖高度與能量撞擊大小成正比。由特殊物質所發出的X-射線可由其后的鑒別電路記錄。

　　使用X-射線熒光原理測厚，將被測物置于儀器中，使待測部位受到X-射線的照射。此時，特定X-射線將由鍍膜、素材及任何中間層膜產生，而檢測系統將其轉換為成比例的電信號，且由儀器記錄下來，測量X-射線的強度可得到鍍膜的厚度。

　　在有些情況，如：印刷線路板上的IC導線，接觸針及導體的零件等測量要求較高 ,一般而言，測量鍍膜厚度基本上需符合下述的要求：

1.不破壞的測量下具高精密度。

2.極小的測定面積。

3.中間鍍膜及素材的成份對測量值不產生影響。

4.同時且互不干擾的測量上層及中間鍍膜 。

5.同時測量雙合金的鍍膜厚及成份。

而膜厚測試儀，x-ray法就可在不受素材及不同中間膜的影響下得到高精密度的測量。